[实用新型]一种可快速拆装的半导体生产加工用固定治具

摘要

本实用新型公开了一种可快速拆装的半导体生产加工用固定治具，包括固定治具主体，所述固定治具主体的下表面底端设置有底盖，所述固定治具主体的前表面通过螺栓固定安装有气缸，所述气缸的端部安装有固定压板，所述固定治具主体的上表面通过螺钉固定有底板，所述底板的上表面设置有防护板，所述防护板的两端侧面均开设有第一卡槽；通过在底板的上表面设计防护板，避免固定治具在使用时不便于对上表面底板防护，经常性操作底板损坏时不便于更换，操作不便，可以将防护板的两侧嵌入第二卡槽的内部闭合在底板的上表面，闭合后通过紧压弹簧在凹槽的内部发生弹性形变的作用将紧压头的端部紧压在第一卡槽的内部，使得防护板紧压安装便于防护使用。