[实用新型]一种曝光机真空曝光室有效
| 申请号： | 202021457739.2 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN212229414U | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 杨中 | 申请（专利权）人： | 深圳德尚自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市鼎智专利代理事务所(普通合伙) 44411 | 代理人： | 汤银 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种曝光机真空曝光室，包括机箱，所述机箱的底端外壁固定连接有基座，且机箱的顶部外壁固定连接有曝光仓，所述曝光仓的一侧外壁对称设有室门，且曝光仓的顶部外壁固定连接有上盖板，所述曝光仓的两侧外壁中部均设有连接仓门，且连接仓门的上方固定连接有电控箱，所述机箱的内壁中部上设有内曝光箱，且机箱的四侧内壁均固定连接有调节电机。本实用新型的内部设有多个真空度检测器，用于检测室腔内的真空环境度，提高曝光室中的曝光效果受到的影响最小，中部曝光灯和四边的边投射曝光灯配合，同时边部曝光灯通过边聚光组件作用，提高曝光面板的投射效果，电机调节实现曝光面板的投光角度和效果，提升曝光平面效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 真空 | ||
【主权项】：
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