[实用新型]一种固晶机用自动晶片扩张器有效

专利信息
申请号: 202021458056.9 申请日: 2020-07-22
公开(公告)号: CN212209430U 公开(公告)日: 2020-12-22
发明(设计)人: 温炜 申请(专利权)人: 抚州致晶自动化设备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 南昌贤达专利代理事务所(普通合伙) 36136 代理人: 金一娴
地址: 344000 江西省抚州市临川区科*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型公开了一种固晶机用自动晶片扩张器,包括机体和凹槽,所述机体上表面固定开设有凹槽,所述凹槽内腔活动设置有扩张圈,所述扩张圈内壁固定开设有卡槽,所述机体侧壁固定安装有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆共设置有四组,且均匀的环设在机体外壁,所述电动伸缩杆的活塞杆一端均固定连接有固定架,且固定架均与扩张圈外壁相连,所述凹槽底部固定安装有加热器,所述加热器上表面固定安装有导热板。本实用新型在使用过程中可快速对不同尺寸的基片进行夹持固定,且在对基片进行扩张时,提升对晶片扩张精度,同时更方便对晶片进行拾取,使用非常的便捷。
搜索关键词: 一种 固晶机用 自动 晶片 扩张器
【主权项】:
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