[实用新型]一种多工位多机氦质谱检漏系统

摘要

本实用新型公开了一种多工位多机氦质谱检漏系统，包括清扫气源、多个氦质谱检漏仪、多个检测工位，所述检测工位与所述氦质谱检漏仪数量相同并对应连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，各所述检测工位分别与所述清扫气源连接。本实用新型通过采用一机一工位的检测方式，解决了一机多工位工作模式中存在的检测工位需要轮流检测、受到检漏仪本身性能瓶颈限制、节拍提升有限、控制逻辑较为复杂等问题，有效地提高了检漏系统的可靠性；并且各检测工位可同时运行相同的检测步骤，消除了一机多工位工作模式中对检漏仪的依赖，使检测效率得到进一步提高，值得被推广使用。