[实用新型]一种用于晶片标记的激光设备有效
| 申请号： | 202021464082.2 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN212682809U | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 凌步军;朱鹏程;袁明峰;吕金鹏;赵有伟;滕宇;孙月飞;冷志斌;冯高俊 | 申请（专利权）人： | 江苏亚威艾欧斯激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/064;B23K26/70;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 林凡燕 |
| 地址： | 225600 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种用于晶片标记的激光设备，包括：激光器，用于发射激光束；扩束镜，用于对所述激光束进行扩束和准直；光束调节单元，用于调节所述激光束的方向；反射镜，用于改变所述激光束的方向；聚焦镜头，用于对所述激光束进行聚焦，以使所述激光束垂直射出；其中，所述激光器，所述扩束镜，所述光束调节单元和所述反射镜在第一方向上依次设置，所述反射镜，所述聚焦镜头和所述载台在第二方向上依次设置，所述第一方向垂直所述第二方向。本实用新型提出的用于晶片标记的激光设备设计简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶片 标记 激光设备 | ||
【主权项】：
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