[实用新型]一种用于坩埚的监控设备有效
| 申请号： | 202021468822.X | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN212747994U | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 温质康;林佳龙;乔小平 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | G01F23/70 | 分类号： | G01F23/70 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;徐剑兵 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公布一种用于坩埚的监控设备，所述监控设备设置在坩埚处，所述坩埚用于装填蒸镀材料，所述监控设备包括导线、导电浮块和浮块衔接装置；所述浮块衔接装置具有间隔的两端子，所述浮块衔接装置的两端子分别与一所述导线连接，所述导线延伸到坩埚外；所述导电浮块用于浮于所述蒸镀材料上；所述浮块衔接装置设置在坩埚的底部，所述导电浮块用于与所述浮块衔接装置接触连接后使所述浮块衔接装置的两端连通。上述技术方案用可以对工作人员起到预警的作用，工作人员可以有序地进行补充蒸镀材料或者停止蒸镀，减少人力浪费的同时提高了坩埚的稼动。监控设备保障了蒸镀速率的稳定，避免基板上的膜质出现异常，提高产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 坩埚 监控 设备 | ||
【主权项】：
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