[实用新型]一种用于坩埚材料消耗的监控设备

摘要

本实用新型公布一种用于坩埚材料消耗的监控设备，包括坩埚固定装置、弹性装置、传感器和信号发射器；所述坩埚固定装置为中空结构且顶部具有开口，所述坩埚固定装置的内部用于放置坩埚，所述坩埚固定装置与弹性装置连接，所述弹性装置的伸缩方向为上下走向；在所述坩埚固定装置的外侧壁上设置有所述信号发射器，在所述坩埚固定装置外设置有所述传感器，所述传感器位于所述信号发射器的一侧，所述传感器用于在信号发射器进入到传感器的感应区域内发出信号。上述技术方案中监控设备对工作人员起到预警的作用，保障了蒸镀速率的稳定，避免基板上的膜质出现异常，提高产品的良率。