[实用新型]一种平面波导型光分路器用晶圆照胶装置有效
| 申请号： | 202021472935.7 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN213349591U | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 王超 | 申请（专利权）人： | 常州凌凯特电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/06 | 分类号： | B05D3/06;G02B6/122 |
| 代理公司： | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人： | 周文杰 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光分路器技术领域，尤其是一种平面波导型光分路器用晶圆照胶装置，包括底部支撑块，底部支撑块内腔底部设有UV面光源，且底部支撑块上端设有横向支撑板，横向支撑板中部开设有光照孔，其上方设有透光板，透光板上设有待照胶晶圆，且其待照胶晶圆通过压紧机构压紧于透光板上。本实用新型的一种平面波导型光分路器用晶圆照胶装置，将其待照胶晶圆放置于透光板上，然后通过其压紧机构对其进行压紧限位，压紧机构上的压板完全覆盖待照胶晶圆，该装置保证了照胶过程的稳定性，只进行一次照胶提高了生产效率的同时，压板完全压住待照胶晶圆，使其在照胶的过程中，整个照胶晶圆受力均匀，实现固化度一致，提高了照胶的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 波导 分路 器用 晶圆照胶 装置 | ||
【主权项】：
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