[实用新型]一种PECVD载板清洗机有效
| 申请号： | 202021480168.4 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN214289682U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 张建德;张延任;刘义军;徐尔强 | 申请（专利权）人： | 福建钧石能源有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/04;B08B13/00;B08B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PECVD载板清洗机，包括清洗槽、烘干槽、排风装置、行车机构和载板花篮装置，所述清洗槽包括碱洗槽、水洗槽和储液槽，所述碱洗槽和补液槽通过管路连通，所述烘干槽包括加热单元和风机，所述碱洗槽、水洗槽和烘干槽并排设置，所述排风装置设置在所述碱洗槽上方，所述排风装置包括设置在碱洗槽顶部的抽风罩、设置在碱洗槽两侧的排气道、与抽风罩和排气道连通的风管，所述排气道内侧均匀分布有排气孔，所述行车机构横向设置在碱洗槽、水洗槽和烘干槽上方，所述载板花篮装置安装在移动架上，所述载板花篮装置由升降电机和花篮组成。本实用新型实现PECVD载板清洗的自动化，代替传统的人工操作，有效提高了清洗效率和清洗质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 清洗 | ||
【主权项】：
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