[实用新型]一种PVD载板粉尘清洁装置有效
| 申请号： | 202021482168.8 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN214718671U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 张建德;张延任;刘义军;徐尔强 | 申请（专利权）人： | 福建钧石能源有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B5/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PVD载板粉尘清洁装置，包括机架、吸风罩、滚刷组件，所述机架两侧分别设有一个调整块，在调整块一端连接滚刷组件，所述吸风罩内设置有滚刷腔、吸尘口，滚刷腔与吸尘口连通，所述滚刷组件能够转动地设置在滚刷腔内，在电机的驱动下对载板进行清扫，所述滚刷组件包括辊筒体和毛刷条。本实用新型实现了PVD载板粉尘的自动、实时清洁，大大降低了载板与传动轮发生摩擦产生掉粉的现象，提高硅片镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvd 粉尘 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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