[实用新型]一种绷膜环晶圆检查机有效
| 申请号： | 202021499377.3 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN212275626U | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 田金泉;李涛;王广禄;陈曦;柯华榕 | 申请（专利权）人： | 憬承光电科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01;B07C5/342 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种绷膜环晶圆检查机，包括检查机主体、晶圆提篮、工作台、纵向移动组件、横向移动组件、安装座、X轴移动组件、Y轴移动组件、吸附平台、支架、INKER标记仪、CCD对位仪、检查组件和扫描仪；该实用新型，通过增设纵向移动组件、横向移动组件、X轴移动组件、Y轴移动组件、吸附平台和检查组件，并配合CCD对位仪和扫描仪，从而使晶圆检查机能实时定位待检查晶圆的位置，自动对待检查晶圆完成移动、夹取、夹持、吸附和检查的动作，不仅提高了晶圆检查机的自动化程度，降低了人员的劳动强度，提高了晶圆检查的效率，还避免了人为操作失误对晶圆表面造成损伤的问题，减少了晶圆检查的次品率，节省了资源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绷膜环晶圆 检查 | ||
【主权项】：
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