[实用新型]一种晶圆自动夹取双手臂机械手

摘要

本实用新型公开了一种晶圆自动夹取双手臂机械手，包括升降电机、升降主动轮、升降滑轨、旋转组件、第一旋转电机、移动组件、移动电机、连接主动轮、连接皮带、连接从动轮、晶圆手臂、底板、第一挡板、升降丝杆、L型座、安装板、限位滑轨、顶板、安装台、支撑块、移动板、第二挡板、转动轴、转环、第二旋转电机和安装盒，所述底板的顶端一侧中心两端分别与第一挡板的底端固定连接，所述第一挡板的一侧与第二挡板的一侧中心两端固定连接，该实用新型，结构简单，使用方便，利用安装的两个相互对应的晶圆手臂，有利于在对晶圆取放料的过程中进行交替夹取，提高了工作效率，同时利用安装的旋转组件和移动组件，扩大了该实用新型在对晶圆取料转运范围。