[实用新型]一种可拆分式新型钽坩埚有效
| 申请号： | 202021502671.5 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN212669853U | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/40 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 曹徐婷 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种可拆分式新型钽坩埚，属于晶体制备技术领域。解决的是坩埚在多次高温后出现裂缝的问题。包括坩埚盖、坩埚底和多个坩埚侧壁拼接片，坩埚侧壁拼接片的上下两端分别与坩埚盖和坩埚底可拆卸连接，坩埚侧壁拼接片依次连接形成一个圆筒，石墨纸为圆柱形，石墨纸包裹在坩埚侧壁拼接片拼接而成的圆筒外侧。本装置在重复高温时易出现裂缝，提高使用寿命，坩埚盖、坩埚底面和坩埚侧壁均可拆卸拼接，在其中一个零件发生损坏时，只需更换损坏的零件就可以继续使用，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 拆分 新型 坩埚 | ||
【主权项】：
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