[实用新型]一种搅拌蒸发源有效
| 申请号： | 202021508401.5 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN212316230U | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 林志斌;黄逸臻;郑沂 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;徐剑兵 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公布一种搅拌蒸发源，包括蒸发源本体和坩埚；所述坩埚设置在所述蒸发源本体内，所述坩埚包括腔体，所述腔体用于作为蒸镀材料的蒸发场所；还包括搅拌装置和驱动单元；所述搅拌装置包括中心轴、横杆、连接杆和搅拌头，所述中心轴的一端连接在所述腔体上，所述中心轴的另一端连接所述横杆，所述横杆上连接有所述连接杆的一端，所述连接杆的另一端连接有所述搅拌头；所述驱动单元设置在所述腔体上，用于驱动搅拌装置转动来搅拌蒸镀材料。上述技术方案在坩埚的腔体中设置有驱动单元与搅拌装置，驱动单元带动搅拌装置进行转动来充分地搅拌蒸镀材料，使蒸镀材料均匀受热，可以避免蒸镀材料的局部发生结块的机率，提高镀率的稳定性，提高成膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 搅拌 蒸发 | ||
【主权项】：
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