[实用新型]一种半导体尾气冷热双处理装置有效
| 申请号： | 202021517196.9 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN213160100U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 崔汉博;崔汉宽 | 申请（专利权）人： | 绍兴市高笙半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04 |
| 代理公司： | 绍兴普华联合专利代理事务所(普通合伙) 33274 | 代理人： | 桑杨 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体尾气冷热双处理装置，包括箱体，所述箱体内设有冷桶和热桶,所述冷桶的上方设有集气桶，所述集气桶和冷桶之间通过总进气管连通，所述集气桶的上方可拆卸连接有若干个集气管，所述集气管的上部穿过箱体后与箱体通过法兰盘固定，所述冷桶的下部设有冷桶出气口，所述冷桶出气口上连接有冷桶出气管，所述热桶的底部设有下输气管，所述下输气管上连接有侧输气管，所述侧输气管上设有热桶进气口和热桶出气口，所述热桶进气口与冷桶出气管相连接，所述热桶出气口的上方设有风机。本实用新型同时满足不同尾气吸附的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 尾气 冷热 处理 装置 | ||
【主权项】：
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