[实用新型]一种用于晶圆切割机的镜面盘有效
| 申请号： | 202021519703.2 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN213829783U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 霍建忠;朱万杰 | 申请（专利权）人： | 苏州思达优科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04;B28D5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于晶圆切割机的镜面盘，包括镜面盘本体，所述镜面盘本体的圆周侧面设置有四个等圆心角的弧形耳块，所述镜面盘本体内设置有直线型气道孔，所述小孔与所述气道孔连通，所述镜面盘本体的底面设置有圆槽，所述圆槽与所有的气道孔的进气端连通，所述圆槽的底板面均布有小孔。本实用新型结构简单，设计巧妙，通过设置四个等圆心角的弧形耳块，镜面盘本体形成拉应力，增强了镜面盘本体的结构稳定性，避免了镜面盘本体因形变导致晶圆切割精度降低，多个小孔的设置，使得真空吸附力更加均匀，吸附性更佳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 切割机 镜面盘 | ||
【主权项】：
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