[实用新型]一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 202021521382.X | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN212864957U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 乔小平 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 黄以琳;张忠波 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蒸镀设备，包括蒸镀装置、旋转机构、遮挡装置以及膜厚仪；所述旋转机构设置于所述蒸镀装置一侧，所述旋转机构与所述遮挡装置连接，所述膜厚仪设置于所述遮挡装置一侧；所述膜厚仪包括晶振片，所述晶振片设置于所述遮挡装置一侧；所述旋转机构用于旋转所述遮挡装置；所述蒸镀装置用于蒸镀蒸镀材料；所述遮挡装置用于调节遮挡蒸镀材料蒸汽到晶振片上的比例。本实用新型的蒸镀设备通过遮挡装置来调节遮挡蒸镀材料蒸汽到晶振片上的比例，以适应不同蒸镀材料镀率的需求，从而延长晶振片使用寿命，且实现对膜厚精确的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
【主权项】：
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