[实用新型]一种应用于光源检测的硅片自动传送设备有效
| 申请号： | 202021528000.6 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN213161982U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 李小明;刘晓云;李斌 | 申请（专利权）人： | 东莞敏威光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/36 | 分类号： | B07C5/36;B07C5/38;B07C5/02;G01N21/89;H01L21/67 |
| 代理公司： | 东莞市科凯伟成知识产权代理有限公司 44627 | 代理人： | 王宇聪 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市东城街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种应用于光源检测的硅片自动传送设备，包括机架、工作台、硅片传送机构、光源检测机构和分拣剔除机构；工作台固定安装在机架的上端面，硅片传送机构固定安装在工作台的上表面；光源检测机构架设在硅片传送机构的输入端；分拣剔除机构架设在硅片传送机构的输出端；其中，硅片传送机构包括传送架、若干同步轮和皮带；传送架固定设置工作台的上表面，各同步轮转动连接在传送架的内侧壁，皮带套设在各同步轮上。本实用新型通过将硅片传送机构、光源检测机构和分拣剔除机构高度集成，实现硅片的自动、高效、准确地分选，有效地提高硅片检测分选的产能，保证硅片根据参数进行精准分选并且降低误检率等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 光源 检测 硅片 自动 传送 设备 | ||
【主权项】：
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