[实用新型]一种柔性调节机构和夹具有效
| 申请号： | 202021539493.3 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN213560738U | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 陈祥 | 申请（专利权）人： | 深圳市开玖自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B23K37/04 | 分类号： | B23K37/04;B23K37/00 |
| 代理公司： | 深圳市世联合知识产权代理有限公司 44385 | 代理人： | 汪琳琳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例属于半导体加工设备技术领域，涉及一种柔性调节机构和夹具，包括底部支撑板、侧面支撑板和调节件；所述侧面支撑板为两个并供压爪安装，所述侧面支撑板设于所述底部支撑板两侧，所述调节件设于所述底部支撑板上，调节所述侧面支撑板在竖直方向的位置。将单一的刚性零件拆分为多个零件，对于不同型号的功率器件存在相对高度差时，通过调节件调节侧面支撑板在竖直方向的位置，以调节压爪在竖直方向的位置，从而可以对压爪对功率器件的压力大小直接进行调节，无需拆装，降低了工作量；底部支撑板和侧面支撑板之间采用柔性的连接方式，对出现数据错误或电机失步时，弹簧提供缓冲的作用，对机械零件起安全保护作用，防止功率器件变形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 调节 机构 夹具 | ||
【主权项】：
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