[实用新型]一种微波腔体组件

摘要

本申请涉及一种微波腔体组件，涉及光纤预制棒加工技术领域，该微波腔体组件用于加工石英反应管，石英反应管内设有等离子体负载，微波腔体组件包括：谐振腔壳体，开设有圆柱形谐振腔，谐振腔壳体底部开设有波导入口；耦合装置，其包括具有第一耦合孔的耦合波导和具有第二耦合孔的立柱波导，耦合波导一端与波导入口连通，另一端与立柱波导连通；第一耦合孔的尺寸被配置为使负载反射系数S11持续保持不大于第一阈值。本申请，随着石英反应管的管壁厚度增加，等离子体负载变化对微波能量耦合的影响较小，负载反射系数S11仍维持在较低的水平，以减少微波能量的损耗，提高沉积质量。