[实用新型]一种单晶炉隔离腔清理装置有效
申请号: | 202021561282.X | 申请日: | 2020-07-31 |
公开(公告)号: | CN212577081U | 公开(公告)日: | 2021-02-23 |
发明(设计)人: | 吴树飞;周泽;赵国伟;郝瑞军;刘振宇;刘学;杨瑞峰;项龙;皇甫亚楠;王林 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 |
主分类号: | B08B9/093 | 分类号: | B08B9/093;B08B13/00;B08B15/04;C30B29/06;C30B15/00;B01D46/10 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型提供一种单晶炉隔离腔清理装置,用于清理密封的隔离腔中的硅粉,其特征在于,包括:可往复旋转地向所述隔离腔吹气的进气单元,以使附着于所述隔离腔内壁上的所述硅粉被吹掉并漂浮于所述隔离腔内;和吸收被所述进气单元吹掉的所述硅粉并使所述硅粉被过滤收集的吸收单元;其中,所述进气单元的位置高于所述吸收单元的位置;所述进气单元的进气口横截面的面积小于所述吸收单元的排气口横截面的面积。本实用新型提出的清理装置结构简单,占用空间小且操作方便,不仅可完全覆盖隔离腔的内腔,而且可快速清理隔离腔内的硅粉,清理效果好且清理时间短。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 隔离 清理 装置 | ||
【主权项】:
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