[实用新型]一种多晶硅还原炉电极结构有效
申请号: | 202021562548.2 | 申请日: | 2020-07-31 |
公开(公告)号: | CN213141423U | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 陈绍林;甘居富;刘逸枫;周鹏;刘斌;王亚萍;杨楠;贾琳蔚 | 申请(专利权)人: | 云南通威高纯晶硅有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人: | 赵丽 |
地址: | 678100 云*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉电极结构,属于多晶硅生产技术领域,包括电极体,所述电极体安装在还原炉底盘内,所述电极体和还原炉底盘之间设有的电极绝缘套,所述电极体还套接有绝缘环,所述绝缘环设置在电极绝缘套上方,所述绝缘环的内径比电极体的外径大0.03‑0.6mm,可以解决还原炉在生产过程中,炉内硅粉随气流流动并沉积在电极、绝缘环及底盘表面,易造成电极与底盘之间形成电气短路,影响还原炉正常生产,以及增加隔热罩成本高,易带入杂质的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 还原 电极 结构 | ||
【主权项】:
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