[实用新型]一种双轴转台系统有效
申请号: | 202021566886.3 | 申请日: | 2020-07-31 |
公开(公告)号: | CN212458402U | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 钱宇力;刘岩 | 申请(专利权)人: | 上海芯物科技有限公司 |
主分类号: | G01C25/00 | 分类号: | G01C25/00;G01P21/00;G01P21/02 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201800 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本申请公开了一种双轴转台系统。该双轴转台系统包括内轴部和外轴部,内轴部的轴向正交于外轴部的轴向,且外轴部轴连接内轴部,以使得内轴部能够围绕外轴部的轴向进行转动。本实用新型实施例所提供的双轴转台系统,属于地平式T型结构双轴转台,通过控制主机向内轴电机和外轴电机输出符合电机运转特性的高精度的驱动信号,使得内轴电机和外轴电机能够响应控制主机的驱动信号按照设定的运转曲线进行平滑转动,实现不同转速之间的平滑过渡,从而解决了现有技术中大型的转台系统在低速状态下失真度大的问题,提高了对于待测器件的检测精度。同时本申请所提供的双轴转台系统具有体积小、质量轻的优点,能够满足多种工程级别的验证需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 转台 系统 | ||
【主权项】:
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