[实用新型]一种晶圆包装盒用的垫片

摘要

本实用新型涉及一种晶圆包装盒用的垫片，包括：可安装于晶圆包装盒中且具有弹性的垫片本体，所述垫片本体包括与所述晶圆包装盒配合的主体部、以及设置于所述主体部的两相对侧以支撑放置于所述晶圆包装盒中的片架并将所述片架与所述晶圆包装盒的内壁隔离的支撑部；设置于所述主体部上以供操作所述垫片本体的把手。该晶圆包装盒用的垫片可通过垫片本体的弹性能有效缓冲片架由于振动而产生的冲击力，又能缩小片架高度方向活动空间，避免片架发生振动与该晶圆包装盒直接接触而产生碰撞，并通过设置支撑部使片架不与晶圆包装盒的内壁直接接触，从而可避免片架与该晶圆包装盒的内壁摩擦产生白色颗粒物，进而可防止晶圆片被白色颗粒物污染。