[实用新型]用于多晶硅生产中树脂的处理系统

摘要

本实用新型公开了用于多晶硅生产中树脂的处理系统，属于多晶硅生产技术领域。包括氯硅烷缓冲罐、氯硅烷储罐和装有待处理树脂的反应柱，氯硅烷缓冲罐与氯硅烷储罐之间通过氯硅烷进管Ⅰ连通，氯硅烷进管Ⅰ延伸至氯硅烷缓冲罐下部，氯硅烷缓冲罐连接有氮气进管，氮气进管延伸至氯硅烷缓冲罐下部；氯硅烷缓冲罐与反应柱之间通过混气进管连通，混气进管与氯硅烷缓冲罐顶部连通；氯硅烷储罐与反应柱之间通过氯硅烷进管Ⅱ连通。通过氯硅烷缓冲罐等设置，实现树脂的干燥及活化处理，有效避免活化效果不理想、检测不合格、树脂包裹有少量水分未被干燥排除、设备在投用时出现十分剧烈的反应等现象，同时，也提高树脂活化的效率和安全性。