[实用新型]集成机械能收集与振动检测功能的微器件有效
| 申请号： | 202021582014.6 | 申请日： | 2020-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN212269451U | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 王可军;王倩;陆耀;张雷;樊成;薛宇程;蒋立伟;归悦承 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 周仁青 |
| 地址： | 215001*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种集成机械能收集与振动检测功能的微器件，包括：基底层，其上开设有裂纹结构，所述裂纹结构沿所述基底层厚度方向贯穿该基底层，所述裂纹结构具有一封闭的尖端部；振动检测结构，设于所述基底层上且部分覆盖所述裂纹结构，所述振动检测结构用于检测振动信号；机电转换结构，嵌设于所述裂纹结构尖端部一侧的基底层内，所述机电转换结构能够将机械能进行收集并转化成电能。本实用新型的优点包括通过裂纹结构的开设，既可实现对机械能的高效收集也可实现微弱振动信号的高精度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 机械能 收集 振动 检测 功能 器件 | ||
【主权项】：
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