[实用新型]一种陶瓷传感器

摘要

本实用新型公开了一种陶瓷传感器，包括形成为一体结构的陶瓷弾性薄片、陶瓷底座和导电通道，陶瓷弾性薄片和陶瓷底座之间形成有空腔，陶瓷弾性薄片的厚度小于陶瓷底座的厚度；陶瓷弾性薄片的底面上具有公共电极，陶瓷底座的顶面的中心区域上具有感压电极和参考电极，导电通道设置在陶瓷底座上，由通道孔和填满通道孔的导电电极组成，包括与公共电极连接的第一导电通道、与感压电极连接的第二导电通道以及与参考电极连接的第三导电通道，各导电电极贯穿出陶瓷底座的底部而具有引出端。本实用新型的陶瓷传感器可有效地解决现有陶瓷传感器气密性良率过低，可靠性较差等问题。