[实用新型]一种半导体加工用熔融装置

摘要

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种半导体加工用熔融装置，其节省功夫，提高对纸质材料的输入效果和使用效果，同时方便对过滤板过滤下来的未熔融颗粒进行再次熔融，提高使用可靠性；包括支架、进料斗、熔融装置本体、过滤箱、连接管和出料管，熔融装置本体和过滤箱均安装在支架上，过滤箱内安装有过滤板，出料管连通安装在过滤箱底端；还包括两组电动机、两组破碎辊筒、两组转轴、支撑座、两组缓冲座、隔板、推板、伸缩电机、连接框、输出斗、阀体、传送装置、输入斗和减震座，两组破碎辊筒均位于进料斗输出口下方，两组破碎辊筒外侧壁上均设置有破碎切片，推板底端与过滤板顶端左侧接触，传送装置安装在减震座上。