[实用新型]具有应力调节层的微热板有效
| 申请号： | 202021585324.3 | 申请日： | 2020-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN212572999U | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 崔铮;张克栋;余飞;陈晓跃;刘福星;周健 | 申请（专利权）人： | 苏州纳格光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/14 | 分类号： | H05B3/14;H05B3/20;H05B3/34 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 常伟 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种具有应力调节层的微热板，包括：硅基底，包括相对设置的第一表面及第二表面；硅基底包括中心加热区及外围支撑区，中心加热区包括贯穿第一表面以及第二表面的空气绝热腔；陶瓷悬膜，设于第一表面；应力调节层，覆盖至少部分陶瓷悬膜的上表面；加热层，加热层包括加热电阻膜及加热电极；加热电阻膜设于陶瓷悬膜上方并位于中心加热区，加热电极设于陶瓷悬膜上方并与加热电阻膜电连接；加热层至少部分与应力调节层接合。本实用新型的具有应力调节层的微热板，通过设置覆盖陶瓷悬膜的应力调节层，能够吸收陶瓷悬膜受热产生的热应力，可以大大提高陶瓷悬膜的应力承受能力，提高了微热板的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 应力 调节 微热板 | ||
【主权项】：
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