[实用新型]一种热驱动大载荷微位移执行机构

摘要

本发明属于精密机械技术领域，公开了一种热驱动大载荷微位移执行机构，缸筒组件内部充满一定压力的液体介质，用于承载大的负载；的缸筒组件同轴安装在固体支架内部，通过缸筒组件与固体支架之间的导向结构进行缸筒轴向滑动，实现微位移驱动；丝杠‑螺母结构同轴固定在固体支架上，或直接在固体支架上加工螺纹孔；丝杠‑螺母结构与缸筒组件同轴，丝杠通过在螺纹孔中旋转并通过球头连接部分驱动缸筒线性运动，进行大行程位移输出。本发明通过热驱动实现大载荷、毫米级大行程的高精度纳米级微位移驱动，同时进一步将行程拓展到厘米级。该执行机构具有大载荷、大行程、高精度、动作平稳、可靠、结构简单、节能、工作寿命长的特点。