[实用新型]一种可选择性炉门抽气气路结构有效

专利信息
申请号: 202021593071.4 申请日: 2020-08-04
公开(公告)号: CN213335547U 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 雷小龙;李宝飞;胡云川;何长发 申请(专利权)人: 通威太阳能(成都)有限公司
主分类号: F27D1/18 分类号: F27D1/18;F27D7/06
代理公司: 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 代理人: 邓芸
地址: 610213 四川省成都市双流*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种可选择性炉门抽气气路结构,涉及扩散炉技术领域,本实用新型包括炉管和炉门,炉门与炉管配合后形成内腔室和炉口腔室,内腔室和炉口腔室通过通道连通,所述炉门上设置有与炉口腔室连通的炉口抽气管,所述内腔室内部设置有尾气管,所述尾气管一端延伸出内腔室与抽空主管道连接,炉口抽气管通过调压管件与抽空主管道连接,抽空主管道连接有真空泵;本实用新型结构简单,可以减少炉门因偏磷酸成绩导致的异常停机和方阻不良产生,可以提高产品的一次通过率;同时降低了技术人员处理异常频次和劳动强度。
搜索关键词: 一种 选择性 炉门 抽气气路 结构
【主权项】:
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