[实用新型]一种适用于大尺寸触摸屏的导电膜有效

专利信息
申请号: 202021593265.4 申请日: 2020-08-04
公开(公告)号: CN212365537U 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 郑琦林;巩燕龙;廖晓芮;张红;高峰;张浩;刘月豹 申请(专利权)人: 安徽方兴光电新材料科技有限公司
主分类号: H01B5/14 分类号: H01B5/14;G06F3/041
代理公司: 昆明合众智信知识产权事务所 53113 代理人: 刘静怡
地址: 233010 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种适用于大尺寸触摸屏的导电膜,包括PET基材层,所述PET基材层上方依次设置有非氧化单晶硅层、氮化硅层、SiO2层和ITO层,所述PET基材层厚度设置为23um,所述非氧化单晶硅层厚度设置为0.9~1.2nm,所述氮化硅层厚度设置为15.9~17.5nm,所述SiO2层厚度设置为22.8~23.9nm,所述ITO层厚度设置为129~140nm。本实用新型在镀膜前首先进行钛靶轰击,改变膜层表面微型面貌,增加膜层附着力,非氧化单晶硅的引入进一步活化了膜层,为后面溅射打下了坚实的基础,防止膜层过厚导致镀层脱落,科学控制气体在腔室内分布,膜层均匀化最优,成品应用在86寸大尺寸触摸屏上不会出现明显可感的延迟现象。
搜索关键词: 一种 适用于 尺寸 触摸屏 导电
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