[实用新型]微波等离子体化学气相沉积装置

摘要

本实用新型涉及一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括：波导装置；反应腔，设置在所述波导装置下方，与所述波导装置连接；冷却罩，与所述反应腔连接，用于对所述反应腔进行风冷散热；屏蔽罩，围设在所述反应腔外部，以防止所述反应腔内的电磁辐射泄漏；旋转升降机构，所述旋转升降机构与所述反应腔内设置的生长平台连接，以实现所述生长平台在所述反应腔内做直线运动和旋转运动。本实用新型的微波等离子体化学气相沉积装置，可以为化学气相沉积工艺提供稳定的生长平台，避免了金刚石膜出现生长不均匀的现象。