[实用新型]微波等离子体化学气相沉积装置用风冷屏蔽机构

摘要

本实用新型涉及一种微波等离子体化学气相沉积装置用风冷屏蔽机构，包括：连接的冷却罩和屏蔽罩，其中，所述冷却罩位于反应室的上方，用于对所述反应室进行风冷散热；所述屏蔽罩围设在所述反应室外部，以防止所述反应室内的电磁辐射泄漏。本实用新型的微波等离子体化学气相沉积装置用风冷屏蔽机构，设置有用于对反应室进行风冷散热的冷却罩，以及防止反应室内的电磁辐射泄漏的屏蔽罩，在采用MPCVD法制备金刚石膜的过程中，可以避免由于反应室不能及时冷却以及反应室内的电磁辐射泄漏，而造成的成膜效果不理想的问题。