[实用新型]一种硅料微波真空烘干机有效
申请号: | 202021598928.1 | 申请日: | 2020-08-04 |
公开(公告)号: | CN212778216U | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 吕磊 | 申请(专利权)人: | 华磊寰球工业装备(青岛)股份有限公司 |
主分类号: | F26B1/00 | 分类号: | F26B1/00;F26B5/04;F26B9/06;F26B23/08;F26B25/02;F26B25/06;B08B3/10 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 于晶晶 |
地址: | 266000 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开一种硅料微波真空烘干机,包括用于清洗硅料的硅料清洗箱、多个用于烘干清洗后的硅料的真空烘干装置和用于实现硅料在硅料清洗箱和真空烘干装置之间转移的机械臂输送装置,真空烘干装置包括设有箱门的真空烘干箱和与真空烘干箱连通的真空泵,真空烘干箱上设置有若干个用于对真空烘干箱内的硅料进行加热的微波加热装置。该真空烘干机烘干速度快、烘干效果好、效率高,微波加热装置的设置使硅料的受热更加均匀。 | ||
搜索关键词: | 一种 微波 真空 烘干机 | ||
【主权项】:
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