[实用新型]一种半导体设备CVD装置Dome部件清洗保护治具有效
| 申请号： | 202021601090.7 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN212665835U | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 周毅;张正伟 | 申请（专利权）人： | 安徽富乐德科技发展股份有限公司 |
| 主分类号： | B24C9/00 | 分类号： | B24C9/00;B24C1/08;B24B41/06;B24B27/033 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体设备CVD装置Dome部件清洗保护治具，包括底座、上托架、支撑螺杆和中间支座，所述上托架通过连接螺杆固定在底座上方，底座上表面设有凹槽，凹槽内设有支撑螺杆，支撑螺杆一端连接凹槽侧壁，另一端连接凹槽中心位置的中间支座，中间支座上还设有矩形弹簧，将本治具装配预紧完成，然后将Dome从上托架口放入治具内至Dome下端接触矩形弹簧，调整Dome的下环面至上托架的装配槽口内，然后在将双手从上托架1上的两个抓取槽中拿出来，这样Dome就被平稳的固定在治具内完成下一步的清洗作业和周转运输。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 cvd 装置 dome 部件 清洗 保护 | ||
【主权项】：
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