[实用新型]一种大型超硬纳米薄膜涂层设备有效
| 申请号： | 202021604399.1 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN212864959U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 周树法 | 申请（专利权）人： | 昆山立特纳米电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 | 代理人： | 刘燕娇 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种大型超硬纳米薄膜涂层设备，包括滑阀泵、预抽阀、前级阀、扩散阀、高阀、真空镀膜室，所述真空镀膜室包括镀膜室主体、旋转挂架结构和镀膜室门结构，所述旋转挂架结构设置在镀膜室主体中间位置，所述镀膜室门结构设置在镀膜室主体侧边；所述镀膜室门结构为双层结构，所述隔层中设置有脉冲电磁发生器。在双层结构的镀膜室门结构中间层设置脉冲电磁发生器，使腔内等离子能量成倍的加强，从而大大提高了镀膜的沉积速度，提高了真空镀膜室中被镀工件从上到下的均匀性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大型 纳米 薄膜 涂层 设备 | ||
【主权项】：
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