[实用新型]一种无残留的在线配气系统有效
| 申请号： | 202021605667.1 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN213121800U | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 周相宙;王宏亮;易雅谊;孟凡良;曹莉;朱帅;李玉滨 | 申请（专利权）人： | 青岛众瑞智能仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G01N1/38 |
| 代理公司： | 青岛致嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 37236 | 代理人： | 张晓艳 |
| 地址： | 266000 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种无残留的在线配气系统，包括两路零气通路和标气通路、混气室、排气通路、废气通路，所述第一零气通路与标气通路并联连接混气室，混气室连接排气通路，所述第二零气通路连接排气通路，所述混气室还连接废气通路。可以进行在线配气，配气浓度低至1ppb，精度高；实现在通入零气测量的同时，使用零气清洗混气室残留的气体，解决现有配气系统残留高的问题，测量与清洗同时进行，节约时间，提高效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 残留 在线 系统 | ||
【主权项】：
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