[实用新型]一种基于气相沉淀技术的涂层涂覆装置有效
申请号: | 202021619096.7 | 申请日: | 2020-08-06 |
公开(公告)号: | CN212955339U | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 吕琛 | 申请(专利权)人: | 山东合创涂层技术有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 南京司南专利代理事务所(普通合伙) 32431 | 代理人: | 叶蕙 |
地址: | 276000 山东省临沂市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及金属涂层涂覆技术领域,尤其为一种基于气相沉淀技术的涂层涂覆装置,包括底座,所述底座的顶部焊接有反应箱,所述反应箱内腔背面的两侧均固定安装有加热器,所述底座的内壁焊接有隔板,所述隔板顶部的中心处轴承支撑有转管;本实用新型通过反应箱、隔板、转管、连接盒、第一真空泵、电机、主动齿、从动齿、喷气管、滑轨、托板、等离子体发生器和输送管的设置,使涂层涂覆装置具备气体分布均匀的优点,同时解决了现有的化学气相沉积成膜过程中,是将工件放置在反应舱内,然后向舱内充入化学气体,整个反应过程为被动式进行,无法保证舱内气体的均匀度,从而导致成膜质量产生偏差的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 沉淀 技术 涂层 装置 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的