[实用新型]一种单晶硅棒切方切割头装置有效
申请号: | 202021627359.9 | 申请日: | 2020-08-07 |
公开(公告)号: | CN213471763U | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 徐永亮;张红臣;岳甫;邱超 | 申请(专利权)人: | 浙江昀丰新材料科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人: | 逯长明;许伟群 |
地址: | 321000 浙江省金华*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种单晶硅棒切方切割头装置,包括驱动机构和切割机构。第一伺服电机的轴与第二伺服电机的轴相垂直,第三伺服电机的轴与第二伺服电机的轴相垂直,且第三伺服电机的轴与第一伺服电机的轴相平行,第四伺服电机的轴与第三伺服电机的轴相垂直,且第四伺服电机的轴与第二伺服电机的轴相平行;第一伺服电机上的两个切割盘片与第三伺服电机上设置的两个切割盘片相对应,第二伺服电机上的两个切割盘片与第四伺服电机上的两个切割盘片相对应,金刚线缠绕在八个切割盘片上,金刚线缠绕在八个切割盘片的后的形状呈“井”字形。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 棒切方 切割 装置 | ||
【主权项】:
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