[实用新型]激光诱导击穿光谱扫描分析仪

摘要

本申请实施例公开了一种激光诱导击穿光谱扫描分析仪，包括：脉冲激光器(1)，机械快门(2)，扩束器(3)，光电探测器(4)，二向色镜(5)，光纤耦合器(6)，光纤(7)，光谱仪(8)，分光片(9)，聚焦镜头(12)，激光定位器(16)，三维电动位移台(17)，电缆(18)，该激光诱导击穿光谱扫描分析仪具有实时、高通量、多元素同时探测等优点，集合了元素探测、光谱识别、显微成像、自动对焦等功能，可实现全程无人值守的自动化扫描，通过样品表面的逐点探测实现元素分析，可视化再现多成分的二维平面分布，建立元素与结构的联系，可望在地质、生物、材料等学科获得广泛应用。