[实用新型]一种光刻胶涂覆装置有效
| 申请号： | 202021641383.8 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN213023933U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 鹿庆文;张锐 | 申请（专利权）人： | 济南紫源电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 沈阳天赢专利代理有限公司 21251 | 代理人： | 陈贞 |
| 地址： | 250200 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻胶涂覆装置，包括箱体以及台板，台板安装于箱体上，所述台板上竖直安装有支板，所述支板上水平安装有横板，所述横板上横向安装有第一丝杆模组，所述第一丝杆模组滑块上安装有第二丝杆模组，所述第二丝杆模组滑块上安装有涂胶组件；本实用新型涉及光刻胶喷涂设备技术领域,本装置在结构方面进行研究改进，通过添加第一丝杆模组进行横向上的移动，通过第二丝杆模组完成纵向上的移动，并且工作中可实现多位置喷涂，使用本装置能够在极大程度上解放人力，并且提高工作效率，促进降低成本，更好的进行光刻胶喷涂工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶涂覆 装置 | ||
【主权项】：
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