[实用新型]涂覆均匀的真空气相沉积系统有效
| 申请号： | 202021643619.1 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN212864940U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 浦招前 | 申请（专利权）人： | 苏州派华纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/50;C23C16/44;C23C16/458 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了涂覆均匀的真空气相沉积系统，包括真空气相沉积系统主体，所述真空气相沉积系统主体的内端中心设有第二管件，所述第二管件的侧端固定连接有第一管件，所述第一管件包括限位板、套管、转轴、侧管和中心管，所述套管设在第一管件的内端，所述套管的内端与限位板相固定设置，所述限位板的内端与侧管相固定设置，所述侧管的中心设置中心管，所述侧管和中心管的底部位置与转轴相转动连接设置，所述第二管件包括扣壳、第一连通管、底架、驱动辊架和第二连通管，所述底架设在第二管件的内端底部，所述底架的一端与第一连通管相连通。本实用新型为涂覆均匀的真空气相沉积系统，通过第一管件和第二管件的设置，实现内端涂覆均匀的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 均匀 空气 沉积 系统 | ||
【主权项】：
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