[实用新型]一种氦质谱检漏仪的清氦系统有效
| 申请号： | 202021646048.7 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN212482824U | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 史萌萌 | 申请（专利权）人： | 湖北锐诚真空科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20;B01D46/10;B01D46/42 |
| 代理公司： | 广州海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 马赟斋;黄修远 |
| 地址： | 431900 湖北省荆门市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪的清氦系统，属于氦质谱检漏仪清理装置领域，解决传统氦质谱检漏仪无法清理残留氦气的问题。该清氦系统包括氦质谱检漏仪本体，氦质谱检漏仪本体上分别设有进气总管和出气管，还包括控制模块和抽风机，所述的抽风机通过连接管与氦质谱检漏仪本体连通，所述的进气总管上分别设有与其连通的第一进气管、第二进气管，所述的第一进气管上设有第一电磁阀，所述的第二进气管上设有第二电磁阀，所述的出气管上设有第三电磁阀，所述的出气管内设有氦气浓度检测传感器，所述的氦气浓度检测传感器、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀均与控制模块电性连接。本实用新型的氦质谱检漏仪清氦系统，能够有效清除氦质谱检漏仪内的氦气。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氦质谱 检漏 系统 | ||
【主权项】：
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