[实用新型]一种应用于钕铁硼真空扩渗炉的抽真空系统

摘要

一种应用于钕铁硼真空扩渗炉的抽真空系统，其包括包括分子泵、罗茨泵、旋片泵、连通分子泵和真空扩渗炉的第一挡板阀、连通分子泵和罗茨泵的主管道、设置在主管道上的第三挡板阀和第二真空规、连通真空扩渗炉和罗茨泵的过渡管道、设置在过渡管道上的第二挡板阀、连通罗茨泵和旋片泵的第四挡板阀以及用于测量真空扩渗炉内真空度的第一真空规和第三真空规，整个启动过程通过分级启动的方式提高提升真空扩渗炉内真空度的速率。