[实用新型]基板载具及电沉积设备有效
| 申请号： | 202021649802.2 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN212713813U | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 闫俊伟;袁广才;董士豪;张国才;王成飞;孙少东;齐琪;曹占锋;潘小杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06;C25D5/54 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;张博 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基板载具及电沉积设备，所述基板载具用于承载待镀膜基板，所述待镀膜基板包括相背设置的第一面和第二面，所述第一面上设有导电膜层；所述基板载具包括一载具本体，所述载具本体包括用于承载及固定所述待镀膜基板的至少一个承载面，所述载具本体上设有用于将所述待镀膜基板限位固定在所述承载面上的固定机构，所述载具本体上还设有导电机构，所述导电机构能够使所述待镀膜基板的所述导电膜层导通电信号。本实用新型提供的基板载具及电沉积设备，能够实现对玻璃基板进行电化学沉积，提升产能。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载具 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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