[实用新型]一种冷却装置及含有冷却装置的中空粘接板有效
| 申请号： | 202021652224.8 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN212399979U | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 杨旭洲;贾瑞波;李斌;张利敏;张昌银;孙钊 | 申请（专利权）人： | 无锡中环应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及粘接板冷却技术领域，尤其是一种冷却装置及含有冷却装置的中空粘接板。其包括分水器，所述分水器可拆卸的连接在中空粘接板的一侧，分水器内设有储水腔，所述储水腔和中空粘接板中空内腔连通；所述分水器外表面连接进水接头，进水接头一端与储水腔连通。本实用新型能够在晶棒切割时对中空粘接板进行冷却，减少切割过程中产生的热量，提高了切割质量；中空粘接板和分水器采用套接或压紧连接的形式，方便了分水器的拆装；分水器和中空粘接板连接处设置密封圈进行密封，提高了冷却水的利用率，避免冷却水在分水器和中空粘接板连接处产生渗漏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冷却 装置 含有 中空 粘接板 | ||
【主权项】：
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