[实用新型]测量系统有效
申请号: | 202021661731.8 | 申请日: | 2019-11-19 |
公开(公告)号: | CN212620609U | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 埃拉德·多坦;莫舍·万霍特斯克尔;希莫·亚洛夫;瓦莱里·戴希;罗伊·林格尔;本亚明·舒尔曼;纽希·巴尔·欧恩;沙哈尔·巴桑 | 申请(专利权)人: | 诺威量测设备股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01N21/27;H01L21/66 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 沈丹阳 |
地址: | 以色列*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本申请公开了一种测量系统,配置为与处理设备集成,处理设备用于对结构进行光学测量,测量系统包括:支撑组件,用于将待测结构保持在测量平面中,使结构沿着至少一个第一横轴移动,并且用于通过z轴载物台改变测量平面的z轴位置;其中,z轴载物台包括两个相对对称的楔块,楔块支撑中间元件,中间元件具有与楔块接触的定向下表面;其中,支撑组件配置为通过改变楔块之间的距离来改变测量平面的z轴位置。 | ||
搜索关键词: | 测量 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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