[实用新型]真空控制组件及镀膜设备有效

专利信息
申请号: 202021666439.5 申请日: 2020-08-11
公开(公告)号: CN212955336U 公开(公告)日: 2021-04-13
发明(设计)人: 贾建涛;张要朋;汪传龙;李厚德;陈文兵;马丰停 申请(专利权)人: 浙江旗滨节能玻璃有限公司;长兴旗滨节能玻璃有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C03C17/00
代理公司: 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 代理人: 张志江
地址: 312000 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开一种真空控制组件及镀膜设备,其中,所述真空控制组件用于镀膜设备的真空腔体,所述真空控制组件包括:进出口腔室,所述进出口腔室与所述真空腔体相连通,所述进出口腔室上设置有出气孔;真空泵,设于所述进出口腔室外侧,所述真空泵的抽气管与所述出气孔相连通;以及加热器,设于所述进出口腔室表面,并靠近所述出气孔设置。本实用新型通过采用加热器设置在进出口腔室表面,使加热器能够对进出口腔室的出气孔部位进行加热,以使出气孔部位保持在预设温度,进而可以防止出气孔部位产生结冰而导致真空泵的抽气管堵塞的问题。
搜索关键词: 真空 控制 组件 镀膜 设备
【主权项】:
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