[实用新型]一种用于动子座的散热装置及曝光机有效
| 申请号： | 202021668694.3 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN212905897U | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 龚双平;李刘飞;陈国军;吴景舟;马迪 | 申请（专利权）人： | 江苏迪盛智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 苏州集律知识产权代理事务所(普通合伙) 32269 | 代理人： | 安纪平 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种用于动子座的散热装置及曝光机，所述散热装置包括连接座和水冷板，水冷板通过连接座设置于动子座的一侧，水冷板包括板体、设置于板体上的水冷槽及容置于水冷槽内的水冷管，水冷管包括至少一个进水口和至少一个出水口。本实用新型通过在动子座下方设置对其散热的水冷板，减小了动子座发热对平台的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 动子座 散热 装置 曝光 | ||
【主权项】：
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